微导纳米公布沉积系统专利_企业

天眼查APP显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“沉积系统”专利公布。 摘要显示，本申请公开了沉积系统。沉积系统包括沉积设备。沉积设备包括设备主体、工艺通道、清洗通道和沉积射频模组。设备主体具有工艺腔体，工艺腔体用于容置载板，且可供载板出入。工艺通道与工艺腔体连通，用于通入工艺气体。多个清洗通道围绕工艺通道，清洗通道分别与工艺腔体连通，清洗通道与工艺通道间隔设置，清洗通道用于通入清洗气体，清洗通道与设备主体的边缘对应设置。沉积射频模组与设备主体连接，用于向工艺腔体馈入射频场。通过上述方式，本申请能够增加沉积系统的清洁效率。