微导纳米公布电极组件和沉积设备专利_企业

天眼查APP显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“电极组件和沉积设备”专利公布。 摘要显示，本申请公开了电极组件和沉积设备。电极组件包括加热板、载板和连接片。载板设置于加热板上。多个连接片位于载板和加热板之间，连接片的一端固定连接于加热板，连接片的另一端与载板抵接，连接片将载板和加热板电导通。通过上述方式，本申请能够提高载板与加热板电导通的可靠性。