微导纳米公布防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备专利_企业

天眼查APP显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请的“防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备”专利公布。 摘要显示，本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种防污染角阀、角阀改造方法及沉积设备。该防污染角阀包括阀体和阀芯组件。阀体具有第一连接口、第二连接口以及阀腔，第一工质能在第一连接口、第二连接口和阀腔之间流动，第二连接口用于连接工艺腔体，且第二连接口和工艺腔体之间形成有连接通道，防污染角阀耦合有吹扫通道，吹扫通道在连接通道内侧形成有第一开口，第二工质能够通过吹扫通道和第一开口进入连接通道内侧。通过吹扫通道输入第二工质，能够破坏连接通道内的稳定扰流状态，使得在连接通道内形成朝向工艺腔体流动的气流，进而将残留气体或者副产物朝向真空泵与工艺腔体的连接处移动，达到排出残留气体和副产物，避免晶圆等产品受污染的效果。