精测电子等公布一种快照式自动光学显微缺陷检测系统和检测方法专利_企业

天眼查APP显示，上海精测半导体技术有限公司,武汉精立电子技术有限公司,武汉精测电子集团股份有限公司申请的“一种快照式自动光学显微缺陷检测系统和检测方法”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种快照式自动光学显微缺陷检测系统和检测方法。通过显微成像模块提升细微缺陷识别的分辨率与精确度，引入高速编码的空间光调制模块对携带缺陷信息的光场进行空间调制，配合待测产品与显微成像模块的相对移动，使相机模块一次曝光即可获取压缩测量图像，再通过计算重构算法恢复高分辨率缺陷图像，突破相机帧率限制，消除机械扫描延迟，实现高速“快照”式检测。本发明特别适用于工业生产线上对玻璃、硅晶圆等工件内部气泡、表面裂纹等缺陷的快速、无损在线检测。