中触媒公布一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用专利_企业

天眼查APP显示，中触媒新材料股份有限公司申请的“一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种缔合度可控的胶体二氧化硅及其制备方法和应用，属于抛光液技术领域。本发明首先将超纯水加热至回流状态后，滴加硅酸烷基酯水解液至溶液pH值为酸性，熟化，得到混合液A，继续滴加硅酸烷基酯水解液，直至粒子生长至目标粒径，经加热浓缩除去醇，得到缔合度可控的胶体二氧化硅。本发明制备的胶体二氧化硅缔合度可调节范围广，稳定性好，分散性好，能够作为CMP抛光液研磨粒子，且本发明的方法操作简单，成本低，适合规模化生产。