石金科技公布一种用于硅片镀膜的水平石墨舟专利_企业

天眼查APP显示，深圳市石金科技股份有限公司申请的“一种用于硅片镀膜的水平石墨舟”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种用于硅片镀膜的水平石墨舟，涉及半导体器件技术领域，包括底片和顶片，底片和顶片之间设置有第一内片，底片和顶片之间还设置有第二内片，且第一内片和第二内片在底片和顶片间相互交替设置，第一内片和第二内片上均贯穿开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设置有用于承载硅片的承载部，底片下方设置有用于支撑底片的支撑部，支撑部上设置有用于固定底片、第一内片、第二内片以及顶片的固定机构，支撑部上设置有调节机构。本装置通过设置有调节机构，从而使得本装置能够适用于不同厚度的待镀膜硅片的承载放置，进而有效防止硅片在镀膜过程中发生位移、倾斜和掉落，从而提高了硅片表面镀膜均匀性，有效降低了硅片镀膜的废品率。