石金科技一种双排横插布局结构石墨舟专利获授权_企业

天眼查APP显示，深圳市石金科技股份有限公司申请的“一种双排横插布局结构石墨舟”专利获授权。摘要显示，本发明公开了一种双排横插布局结构石墨舟，涉及半导体设备技术领域，所述石墨舟片包括双排内片、双排外片以及扩容部，双排横插布局结构石墨舟还包括用于提升石墨舟装载硅片后的稳定性的稳固部，以及用于调节双排外片和双排内片间所装载的硅片位置的调节部。通过设置有定位部，在人工的安装情形下，仍然能够保持各个石墨舟片间的间距仍然保持一致，进而避免了人为安装因素导致的石墨舟片间的间距不一致，通过保障石墨舟片间的间距一致，从而保障了硅片在后续高温加工的过程中能够受热均匀，一定程度上提高了硅片加工的合格率。