中科飞测公布一种检测系统及检测方法专利_企业

天眼查APP显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请的“一种检测系统及检测方法”专利公布。 摘要显示，本申请公开了一种检测系统及检测方法，检测系统包括载物平台、照明组件、多个探测通道，每个探测通道配置至少一个探测器，多个探测通道包括第一探测通道、第二探测通道、第三探测通道和第四探测通道。载物平台用于承载待测物。照明组件被配置为向待测物发射检测光束，检测光束经待测物散射形成至少一束信号光。多个探测通道被分别配置为成像式收集对应探测区出射的信号光，并根据信号光生成待测物的缺陷检测信息。共面的四个探测通道分居目标法线两侧形成对称分布，且入射面和探测面垂直，从而更加契合不同类型缺陷的散射光强的分布规律，使得检测系统针对不同类型缺陷均有更好的信号光收集效果，提高了检测的精度和灵敏度。